天风证券：机械设备行业专题研究：Perc、TOPCon、HJT与IBC，各家电池片技术路线差异几何？

核心组合： 先导智能、迈为股份、新莱应材、联赢激光、江苏神通、华测检测、高测股份、帝尔激光、春风动力、奕瑞科技、润邦股份、苏试试验。重点组合： 中联重科、 锐科激光、欧科亿、华锐精密、国茂股份、 杰克股份、弘亚数控、美亚光电、三一重工、中联重科。本周专题： Perc、 TOPCon、 HJT与IBC，各家电池片技术路线差异几何？ 1） PERC： PERC电池的工艺流程相对简单且设备成熟，近两年来，标配一些提效工艺，如激光SE、碱抛、光注入/电注入等。 PERC技术以背面钝化层的沉积和激光开槽为主，后续在此基础上进行工艺改进优化时增加正面SE激光和光注入/电注入退火等工艺。2） TOPCon： 首先在电池背面制备一层1～2nm的隧穿氧化层，然后再沉积一层掺杂多晶硅，二者共同形成钝化接触结构，为硅片的背面提供良好的界面钝化。3） HJT： 以N型单晶硅(C-Si)为衬底光吸收区，经过制绒清洗后，其正面依次沉积厚度为5-10nm的本征非晶硅薄膜(i-a-Si: H)和掺杂的P型非晶硅(P-a-Si:H)，和硅衬底形成p-n异质结。硅片的背面又通过沉积厚度为5-10nm的i-a-Si:H和掺