卓海科技创业板IPO上市招股说明书：募资5.47亿元投建半导体前道量检测设备等

前道量检测设备作为贯穿晶圆制造全过程、不可或缺的质量控制设备，具备高精密度、结构复杂、品类众多的特点。在晶圆制造工艺代际更替过程中，终端应用的多样性使得不同制程的晶圆制造产线在较长时间内并存发展，相应推动了市场对不同制程前道量检测设备的多样化需求。根据 VLSI Research 数据，中国大陆前道量检测设备的市场规模由 2016 年度的 7.0 亿美元增长至2020年度的21.0亿美元，年复合增长率达到31.61%，呈现快速增长趋势；同时，中国大陆前道量检测设备市场规模占全球的比例由 2016 年度的 14.71%增长至 2020 年度的 27.45%，已成为全球最大的前道量检测设备市场。在汽车电子、消费电子等领域广泛应用的功率分立器件、MEMS、模拟芯片等主要使用成熟制程工艺，上述终端需求的快速增长推动了我国成熟制程晶圆制造产线建设的加快，市场对成熟制程前道量检测设备存在大量需求。