德邦证券：半导体设备中标专题（2022年7月）：晶圆厂扩产回升，万业企业子公司中标上海积塔多台刻蚀、沉积设备

投资要点：2022年7月国内主流晶圆厂共开标76台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年7月国内10家主流晶圆厂共开标76台工艺设备，主要来自上海积塔（40台）、华虹无锡（35台）、福建晋华（1台）。22年1-7月合计开标624台工艺设备，主要来自华虹无锡（326台）、上海积塔（250台）、福建晋华（24台）、时代电气（16台）、华力集成（6台）、华力微电子（2台）。炉管、刻蚀、前道检测设备为2022年7月国内晶圆厂主要开标设备。2022年7月开标的76台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（44台）、刻蚀设备（10台）、前道检测设备（9台）、沉积设备（8台）、清洗设备（4台）、涂胶显影设备（1台）。2022年1-7月开标的624台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（163台）、沉积设备（105台）、刻蚀设备（92台）、前道检测设备（7