上海证券：至纯科技（603690）-国产替代趋势下，半导体湿法清洗设备迎增长机遇

至纯科技(603690)投资摘要估值与投资建议我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元，归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元，对应当前股价的PE分别为41x/32x/27x。公司通过高纯工艺系统起家，和半导体一线用户建立了良好合作关系，湿法清洗设备和系统集成业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升，公司估值有望重构。在我国半导体产业面临外部打压背景下，国产替代是行业发展趋势，我们看好公司湿法设备的成长性，未来六个月内维持“增持”评级。高纯工艺系统产品线丰富，已切入下游多家一线知名厂商高纯工艺系统广泛应用于集成电路、显示屏、光伏、生物制药及食品饮料等领域，下游应用领域良好发展势头有利于驱动高纯工艺系统的需求增长。公司具有涵盖气体、化学品等高纯工艺设备及系统的丰富产品线，拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、大宗气体系统等相关技术研发，加大了对工艺减排、产品服务化的布局。公司在高纯工艺系统领域属于具有承接大型项目的实力与经验的本土企业，产品已切入中芯国际、士兰微、长江存储、台积电、海力士等知名厂商。不断