激光干涉仪原理介绍——线性测量与回转轴校准（图文并茂）

发布者：wx****a1

2023-03-16

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本资料为激光干涉仪原理介绍——线性测量与回转轴校准，共21页。资料概况：激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件：

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