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国联证券:南大光电(300346)-ArF光刻胶认证通过,国产材料持续推进

发布者:wx****0c
2020-12-25
2 MB 22 页
国联证券
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国联证券:南大光电(300346)-ArF光刻胶认证通过,国产材料持续推进.pdf
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南大光电(300346)投资要点:公司ArF光刻胶验证通过,国产替代缺口下静待公司量产突破。高端ArF光刻胶目前还未有国内公司量产,国内ArF光刻胶市场需求达2.5亿美元,亟需国产替代。公司于客户50nm闪存技术平台验证通过,证明代表性工艺节点突破,成功实现从零到一的突破。公司量产计划于2019年底在宁波建成光刻胶生产线,并于2021年底实现年产25吨(干式5吨/浸没式20吨)产能规模,性能满足90nm-14nmIC制造要求。公司收购飞源气体后与公司现有磷烷、砷烷电子特气整合优化,成为业务新增长点。公司收购完成国内前三含氟电子特气供应商飞源气体,布局含氟特气市场。目前NF3市场需求处于紧平衡,飞源NF3气体相比国外SK、KDK等厂商具有原料和运输成本优势。同时,磷烷与砷烷属于高纯特气中技术门槛和开发难度最高的两种,公司经多年攻关后已开始量产6N级以上高纯气体,占据国内75%市场份额,并进入世界一流公司供应名单。公司三大业务板块协同效应明显,整合后公司边际效应有望改善。公司原有MO源业务与ALD前驱体整合为先进前驱体材料板块,与电子特气、光刻胶形成公司三大板块。三板块同时需求高纯度、低杂

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