恒锐：2012年晶圆机械手创新主体创新能力评价报告

晶圆机械手（Wafer Handling Robot，简称WHR），是半导体制造过程中不可或缺的关键设备，通常采用精密的机械结构和先进的控制系统， 以确保对晶圆的精准抓取、定位和移动。其工作原理通常基于先进的运动学和控制理论，通过计算机编程完成复杂的动作，包括定位、抓取和移 动晶圆。在实际操作中，机械手会根据传感器的反馈信息实时调整其运动路径和动作，以适应各种生产要求。晶圆机械手广泛应用于半导体制造 的多个环节，如清洗、刻蚀、光刻、扩散、沉积、装配、包装和测试等。此外，它在显示器制造和太阳能产业中也扮演着重要角色。在显示器制 造中，晶圆机械手用于液晶显示屏（LCD）和有机发光二极管（OLED）的生产；在太阳能产业中，它被广泛应用于太阳能电池片的生产