华安证券：芯源微（688037）-前道设备快速放量，多重曝光&Chiplet趋势开启新格局

芯源微(688037)全年业绩实现高速增长，各类设备产销情况持续向好。2022年公司实现营收13.85亿元，同比增长约67%；归母净利润2.00亿元，同比增长约159%；涂胶显影设备产量214台套，销售量209台套，销量同比增加32%。单片湿法设备产量127台套，销量126台套，销量同比增加93.85%。涂胶显影设备产销趋于均衡，单片式湿法设备产量显著增长。2022年公司克服疫情等因素，新签订单规模同比大幅增长的同时保障各类订单在客户端有序交付及验收，收入规模持续增长。公司集成电路前道晶圆加工领域产品收入实现快速放量，同时保持小尺寸（如LED、化合物半导体等）及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长。新增订单快速放量，前道Track工艺覆盖度进一步提升。2022年公司前道track产品进展顺利，2022年12月公司正式推出28nm浸没式Arf涂胶显影机并交付重要客户。该产品能够匹配全球主流光刻机联机生产，实现了公司在前道涂胶显影环节28nm及以上工艺节点的全覆盖。预计公司今年将继续推进各类inline机台在国内主流fab厂端的验证。公司涂胶显影机客户结构分散，单一客户比重均较低，20