浙商证券：微导纳米点评报告：发布PECVD、LPCVD两大设备，持续丰富半导体设备产品矩阵

微导纳米(688147)投资要点事件：6月29日微导纳米公众号发布，公司于上海SEMICON展会正式发布第一代iTronix®系列CVD薄膜沉积设备，包括PECVD和LPCVD两大产品。公司CVD薄膜沉积设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。推出PECVD、LPCVD丰富产品矩阵，产品已获客户订单验证进展顺利6月29日SEMICONchina在上海开幕，公司正式发布iTronix®PE系列和LP系列两大产品。公司PECVD设备可沉积相应不同种类薄膜，应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域的芯片制造。可安装更多反应腔以满足高产能需求。LPCVD设备在逻辑芯片、DRAM芯片、NAND芯片等领域具有广泛应用，可满足SiGe、p-Si、dopeda-Si、SiO2、SiN等薄膜沉积工艺的开发与应用需求。目前CVD设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，2023年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单