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民生证券:彤程新材(603650)-事件点评:ArF光刻胶取得核心突破,G5等级EBR加速认证.pdf |
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彤程新材(603650)事件:11月5日,公司发布关于光刻胶项目进展情况的公告,公司已经完成ArF光刻胶部分型号的开发,已具备量产能力。同时,上海化学工业区项目工程阶段已竣工,目前已逐步进入试生产阶段。A胶取得核心突破。K胶品种持续扩充。在ArF光刻胶产品方面,公司已经完成ArF光刻胶部分型号的开发,首批ArF光刻胶的各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品,已具备量产能力,目前处于量产前的光刻工艺测试及产品验证阶段。K胶以及I胶方面,公司I线光刻胶已广泛应用于国内6寸、8寸、12寸集成电路产线,支持的工艺制程涵盖14nm及以上工艺。KrF光刻胶量产品种达20种以上,稳定供应国内头部芯片制造商。上海化学工业区项目竣工,进入试生产阶段。公司上海化学工业区工厂设计能力年产1千吨半导体光刻胶、1万吨显示用光刻胶和2万吨高纯EBR试剂(光刻胶去边剂),在国际国内半导体厂商及光刻胶厂商战略合作推动下,完成了产线优化及品控升级,该项目工程阶段已竣工,目前已逐步进入试生产阶段。其中1千吨半导体光刻胶量产产线,主要包括年产300/400吨ArF及KrF光刻胶量产产线,通过采用超高纯PFA(涂层)设备、引入
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