华福证券：机械设备行业：分子泵：高真空领域应用设备，助力中国高端制造崛起

投资要点：高真空设备，助力科研、工业发展。分子泵作为一种高真空设备，其核心原理是利用分子运动，通过吸附、扩散和排气的过程，将气体分子从真空腔体中排出，以达到极低的气体压力和高纯度的环境。自1912年以来，分子泵经历了四个时期，并在20世纪末逐步实现产业化进程。我国分子泵最早主要依赖进口，20世纪60年代，中科科仪开始研制本土分子泵，2011年成功填补国内市场空白，当前已成为国内最大的供应商之一。从产品结构来看，分子泵以轴承特性或转子结构分类，其中：1）按照轴承特性：分为油润滑、脂润滑、磁悬浮。其中，磁悬浮分子泵基于“无基础、无摩擦”等特点，具有较大发展潜力。2）按照转子结构，分为牵引式、涡轮式、复合式。市场规模稳步增长，半导体为核心下游应用。2023年，全球涡轮/磁悬浮分子泵市场规模分别为14/3.9亿美元（约合人民币100.4/27.9亿元），预计2030年可达20.8/6.1美元（约合人民币149.5/43.9亿元）。国内方面，2017-2020年，我国分子泵市场规模从10亿元增长至13.4亿元，CAGR10.2%；预计2026年有望突破31亿元。从下游产业角度来看，分子泵广泛应用