德邦证券：机械设备半导体设备中标专题（2022年5月）：10家晶圆厂开标79台工艺设备，刻蚀国产率维持高位

2022年5月国内主流晶圆厂共开标79台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年5月国内10家主流晶圆厂共开标79台工艺设备，主要来自上海积塔（54台）、华虹无锡（12台）、福建晋华（8台）、时代电气（2台）、华力集成（3台）。22年1-5月合计开标480台工艺设备，主要来自华虹无锡（280台）、上海积塔（158台）、时代电气（16台）、福建晋华（20台）、华力集成（5台）、华力微电子（1台）。沉积、前道检测、刻蚀设备为2022年5月国内晶圆厂主要开标设备。2022年5月开标的79台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为沉积设备（28台）、前道检测设备（14台）、刻蚀设备（13台）、炉管设备（5台）、抛光设备（5台）、光刻机（4台）、清洗设备（3台）、涂胶显影机（3台）、干法去胶机（3台）、离子注入机（1台）。2022年1-5月开标的480台设备中，按照不同工艺设备开标数量