光大证券：国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期（2022年06月）：积塔/华虹招标53/49台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台

国内半导体设备5月招投标数据（仅限于已公布的数据）国内晶圆厂商招标数据：华虹半导体：CVD+1台，ALD+1台，干法刻蚀+3台，湿法刻蚀+2台，前道检测+2台，前道计量+2台，后道测试机+16台，探针台+19台，后道封装+3台；上海积塔半导体：PVD+7台，CVD+15台，ECP+1台，光刻机+4台，干法刻蚀+5台，湿法刻蚀+1台，前道检测+4台，湿法清洗+3台，去胶+2台，涂胶显影+3台，化学机械研磨+5台，退火+1台，氧化扩散+2台；福建晋华：CVD+1台，前道检测+2台，前道计量+3台，退火+2台，离子注入+1台；燕东微电子科技：前道计量+1台，湿法清洗+1台，离子注入+5台，后道测试机+3台；华力微电子：干法刻蚀+1台，离子注入+1台；上海新微：PVD+1台，干法刻蚀+1台，前道检测+1台，抛光研磨机+1台，氧化扩散+1台，后道封装+5台；国内设备厂商中标数据：北方华创：PVD+8台，干法刻蚀+2台，湿法清洗+2台，氧化扩散+2台；中微公司：干法刻蚀+2台；芯源微：涂胶显影+15台；沈阳拓荆：CVD+11台；上海微电子：光刻机+1台，缺陷检测显微镜+4台；屹唐半导体：退火+1台