民生证券：机械一周解一惑系列：光伏硅料环节技术路线及设备梳理

本周关注：精测电子、国茂股份、科德数控、鸣志电器本周核心观点：当前人形机器人、新能源行业新技术、新工艺层出不穷，需关注技术变化带来的设备需求。改良西门子法（棒状硅技术）技术成熟稳定，是行业内主流的加工路线。根据CPIA数据显示，2021年改良西门子法生产的棒状硅市场份额为95.9%，处二主导地位。改良西门子法是用氯气和氢气合成氯化氢，氯化氢不工业硅粉在一定的温度下生成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在还原炉内进行化学气相沉积反应生产高纯多晶硅，其主要是在西门子法基础上增加了尾气回收和四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭路循环和原料的循环利用，解决了西门子法还原过程单次转化率低的问题，提高了物料使用率，降低了生产成本，同时避克副产品直接排放污染环境。硅烷流化床法（颗粒硅技术）技术进展较快，未来市占率有望进一步提升。硅烷流化床法不改良西门子法的前半段工艺相同，都是通过工业硅氢化得到三氯氢硅并分离尾气，但硅烷流化床法在后半段将三氯氢硅加氢制成硅烷，并将其通入流化床反应炉内进行连续热分解，然后在流化床反应器内预制的硅籽晶上发生气相沉积反应，生产颗粒状的多晶硅产品。硅烷