民生证券：半导体设备招标跟踪（2021年12月）：扩产持续，华虹再启大量招标

H2采购潮再启，国产占比提升。本土晶圆厂龙头中芯国际（绍兴）、长江存储、华虹宏力（包括华虹半导体、上海华力）2021年共计完成设备招标899台，同比增长54%。上半年采购高峰集中在1月和4月，主要订单分别来自华虹无锡和长江存储。下半年采购高峰出现在7月和9月，分别完成招标91台和110台，由长江存储贡献主要增量。全年来看，国产设备中标量占比达21%，清洗、去胶、涂胶显影、刻蚀、CMP国产化率较高。 2021三大晶圆厂招标结果明细： 1）华虹：267台，国产47台，国产化率18%； 2）长江存储：475台，国产71台，国产化率15%； 3）中芯绍兴：157台，国产70台，国产化率45%。 12月华虹再启大量招标。12月华虹公布了292台晶圆厂设备的新增招标。包括光刻7台，涂胶显影9台，薄膜沉积58台，刻蚀49台，炉管80台，离子注入18台，CMP20台，清洗26台，去胶20台，以及3台后道封装设备和2台辅助设备，采购主体为华虹无锡。本次开标力度空前，超过21年全年招标完成数量，我们对22年初华虹的产能扩张展望乐观。 2021国产设备厂商中标明细： 1）北方华创27台，包括薄膜/刻蚀/炉管