民生证券：机械一周解一惑系列：钙钛矿层薄膜制备中涂布、蒸镀设备的对比选择

本周关注：郑煤机、三一重工、联赢激光、高测股份本周核心观点：关注国家投资为主的经济复苏主题，如地产、煤矿等产业链相关设备，同时关注成长板块底部修复机会钙钛矿电池的核心层“钙钛矿层”主要包括两类镀膜方法：目前钙钛矿层薄膜的制备主要有溶液法、气相法两类工艺，可单独或组合使用。1）溶液法（湿法）：溶液法内部可细分为一步溶液法、两步溶液法，两步溶液法中又分为分布浸渍法和两步旋涂法。溶液法的核心思想是将钙钛矿层所需的有机、无机材料配置成前驱体溶液，并通过涂布设备涂在基底表面，此后经过退火溶液蒸发，在溶液干燥结晶过程中，溶液形成晶核，再结晶变为晶体，因此又称为湿法；2）气相法（干法）：气相法内部可分为双源共蒸、单源蒸发、分布气相沉积法。其原理主要是依靠真空蒸镀设备的蒸发源加热，使钙钛矿层需要的有机、无机靶材蒸发升华气态粒子，气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送，气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜，因此又称为干法。3）干湿结合法：溶液两步法中存在溶质的再溶解，因此在长时间的反应中经常会引起钙钛矿薄膜的再溶解而破坏薄膜的致密性，采用气相法可以避免这一过程，因此干湿结合法是首先使用湿法涂布无机层，