浙商证券：工业气体行业周报（2023年9月第3周）：光刻气：光刻机重要耗材，推荐华特气体、凯美特气等

投资要点光刻气体是光刻工艺所需重要材料，主要成分为氖气等气体产品光刻气体作用：光刻过程中需要充入混合气，在受到高压激发后，混合气会形成等离子体，固定波长的光线在经过聚合、滤波等过程后形成光刻机光源。光刻气体组分：氖气为用量占比最大的原料。主要的混合气有氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等。光刻气体价格位于近三年底部，下游集成电路需求有望企稳回升光刻气体当前价格处于2020年以来的底部。根据特气头条数据，2023年9月14日，氪气出厂价为675元/立方，氙气出厂价为6.3万元/立方，氖气出厂价为220元/立方。光刻气体需求有望企稳回升，构成对价格的支撑。2023年7月，全球半导体销售额同比下降11.8%，跌幅持续收窄。在自主可控、国产替代要求下，预计十四五期间我国集成电路产量仍将维持较快增长，看好电子特气的成长机会。华特气体、凯美特气是国内已经取得ASML认证的两家光刻气供应商根据公告，华特气体光刻气通过了ASML和GIGAPHOTON的认证。公司已实现对国内8寸以上集成电路制造厂商超过90%的客户覆盖率。根据公告，2023年2月，凯美特气光刻气产品通过Cym