中银证券：芯源微（688037）-定增助力ArF涂胶显影设备研发及成熟产品的产能扩张

芯源微(688037)事件：6月12日公司发布2021年度向特定对象发行A股股票预案，拟发行股票不超过2,520.00万股(含本数)，募集资金总额不超过10亿元(含本数)，扣除发行费用后的募集资金净额用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目(二期)及补充流动资金。支撑评级的要点抓住上海临港区域协同发展机遇，推动实现前道加工设备在先进制程领域的突破。随着上海市积极建设科技创新中心，临港新片区吸引众多集成电路产业链上下游的优质企业，形成产业集群，可就地提供优质的供应链。公司本次募资中有4.7亿元用于临港研发及产业化项目，近项目总投资金额的73%，将助力公司研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机、单片式化学清洗机等高端半导体专用设备，强化技术优势并丰富产品结构，提升公司长期发展的核心竞争力。扩充前道晶圆加工及后道先进封装环节涂胶显影设备产能，业务规模可加速增长。目前全球处于“芯片短缺潮”，公司产品订单正迅速上升，据公司在互动平台表示，公司订单饱满，生产厂区满负荷运转。本次募资中有2.3亿元用于高端晶圆处理设备产业化项目(二期)，占项目总投资额的79%