东兴证券：中微公司（688012）-先进设备研发顺利，公司发展空间广阔

中微公司(688012)公司发布2020年报，全年营收22.73亿元，同比增长16.8%，归母净利润4.92亿元，同比增长161.0%，其中扣非净利润0.23亿元，同比下滑84.2%。净利润增长来自中芯国际科创板上市带来的2.62亿元公允价值变动损益和计入非经常性损益的政府补助2.53亿元，扣非净利润的下滑来自实施股权激励产生的股份支付费用1.24亿元，去年同期无此费用。根据此前发布的业绩快报，公司全年刻蚀设备收入12.89亿元，同比增长58.5%，MOVCD设备收入4.96亿元，同比下滑34.5%，刻蚀设备的营收占比再次提升。虽然MOCVD设备受到下游市场影响收入下滑拖累整体利润，但公司以刻蚀设备国产替代为核心的长期价值增长逻辑并未改变。等离子体刻蚀机是公司最核心的业务，其中电容耦合等离子体（CCP）刻蚀是公司率先研发的技术，产品已经进入65-5nm制程的多条逻辑产线，并且大量应用在64层及128层3DNAND产线。电感耦合等离子体（ICP）刻蚀是公司近年来涉足的技术，其与CCP刻蚀用于不同工序和介质，同样在晶圆厂广泛应用。根据年报披露信息，公司的5nmICP刻蚀机已经实现在先进逻辑