德邦证券：芯源微（688037）-涂胶显影保持领先，先进封装&化学清洗拓展空间

芯源微(688037)投资要点事件：公司公告2022年实现营收13.85亿元，同比+67%；归母净利润2.00亿元，同比+159%；扣非归母净利润1.37亿元，同比+115%。公司营收保持快速成长。公司22Q4实现收入4.88亿元，同比+73%，保持高速成长；归母净利润0.57亿元，同比+135%。公司Q4销售毛利率和净利率环比有所下降，我们认为可能受到销售产品结构的影响。截至2022年末，公司合同负债为5.85亿元，环比小幅下降，反映前期订单往收入的转化。22年，公司光刻工序涂胶显影设备实现营收7.57亿元，同比+50%；单片湿法设备实现营收5.50亿元，同比+90%，受到清洗、去胶、湿法刻蚀产品的收入增长推动。前道涂胶显影设备完成28nm及以上工艺节点全覆盖。公司前道涂胶显影机签单实现了快速放量，其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售。浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc机台也成功实现了客户导入。公司首台浸没式高产能涂胶显影机22Q4在国内某知名客户处完成验证，标志着公司已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖。此外，公司持续对前道涂