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平安证券:半导体:SEMICONChina2025动态跟踪报告-新凯来携四类产品亮相,半导体设备国产化再上新台阶.pdf |
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事项:
新凯来携三十余款半导体设备亮相SEMICON展会,涵盖扩散、刻蚀、薄膜沉积、量检测等领域,初步展示了其多品类、全系列的半导体设备产品矩阵。
平安观点:
新凯来携三十余款产品亮相SEMICON,半导体设备国产化水平再上新台阶。2025年3月26日-28日,SEMICONChina2025在上海举办。展会期间,半导体设备新贵新凯来亮相,展出多达四大类、三十余款半导体设备,引起业界广泛关注。新凯来本次展出特点总结有二:1)种类多、系列全,涵盖扩散、刻蚀、薄膜沉积、量检测四大领域;2)大都支持未来向先进节点演进,半导体设备国产化水平再上新台阶。
扩散设备:推出EPI、RTP两类共六款产品。EPI是12英寸单片减压外延生长设备,代号峨眉山,包括1号、2号、3号三款产品;RTP是快速热处理设备,代号三清山,包括1号、2号、3号产品,两者均支持未来向先进工艺演进。
刻蚀设备:推出CCP、ICP、自由基干法刻蚀产品。新凯来展出的干法刻蚀设备种类齐全,用途广泛,代号武夷山。武夷山1号是CCP干刻,可满足先进节点各类精细介质刻蚀场景需求,武夷山2号是ICP干刻,可满足先进节点各类精细硅及金属刻蚀场
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