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中航证券:电子:光刻机燃眉之急暂解,直接利好上游设备材料.pdf |
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事件:据路透社报道,当地时间8月31日,ASML证实公司可在2023年底前向中国大陆客户出口先进浸没式DUV,包括TWINSCANNXT:2000i及更先进的型号,EUV仍在禁运清单内。2024年起,上述先进设备将较难获得出口许可证。制裁情况优于此前预期,解行业燃眉之急从光刻机制裁的时间线来看,2023年初美日荷三国领导人会晤,计划联合制裁,随后日本管制条例陆续披露、定稿并于7月23日正式实施,Nikon的高端DUV受限。3月8日荷兰政府公告拟对华限制出口“最先进”的DUV光刻设备,6月30日正式出台管制措施,并定于9月1日正式落地。自3月以来,ASML一直将“最先进”理解为NXT:2000i及之后的浸没式设备,即上述机台无法出货,1980Di不受影响,且9月1日后无法再发货。而从路透社最新报道来看,有明显超预期的表现,一是中国大陆客户可以收到套刻精度、产率更高的机台;二是延长了出货的时间窗,有望获得更多机台。中国大陆晶圆厂积极准备光刻机,保障后续产能规划2023Q2,ASML共确收39台浸没式DUV(22Q2为21台,23Q1为25台),占设备总收入的49%;23Q2公司来自中国大陆
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