东吴证券：半导体设备&零部件行业2024年报&2025一季报总结：业绩持续高增，看好自主可控趋势下国产替代加速

收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取14家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【中科飞测】和4家半导体零部件行业重点标的【英杰电气】【汉钟精机】【新莱应材】【富创精密】。1）收入端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现营业收入732.2/177.4亿元，同比+33/+37%；四家半导体零部件企业合计实现营业收入113.4/24.7亿元，同比+9/-6%；2）利润端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现归母净利润119.0/25.8亿元，同比+15/+37%，四家半导体零部件企业合计实现归母净利润16.1/2.0亿元，同比-5/-45%；3）费用端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业期间费用率为34.7/38.9%，同比+0.5/-5.2pct，2024&2025Q1四家半导体零部件企业期间费用率为15.8/18.9%，同比-0.3/+2.4pct；4）订单方面：2024&2025Q1十四家半导体设