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东海证券:化工新材料行业简评:日本三井化学退出三氟化氮业务,我国电子特气竞争力有望加强

发布者:wx****78
2025-05-28
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化工 东海证券
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东海证券:化工新材料行业简评:日本三井化学退出三氟化氮业务,我国电子特气竞争力有望加强.pdf
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投资要点: 事件:5月26日,日本巨头三井化学宣布,决定退出其全资子公司下关三井化学生产的三氟化氮(NF3)业务,生产将于2026年3月底停止,销售将于同年内结束。三井化学表示关停的原因由于海外产品价格竞争加剧、原材料及公用工程成本上涨、维修等成本上升,该业务盈利极为困难。虽然公司采取了各种合理化和削减成本的措施,但很难确保继续经营所需的利润,因此决定退出该业务。 三氟化氮:半导体制造的“隐形关键材料”。三氟化氮(NF3),在纯净状态下通常被认为是无色无味气体。在低温时呈现为不透明固体,温度上升到-216.54℃时变为透明,熔点为-206.79℃,沸点为-129.01℃,相对密度1.537(-129℃)。在高温下表现出良好的稳定性,可耐受高达627℃的温度。通常用熔盐电解法制得,也可直接氟化氨化钠或氨气而获得。采用辉光放电法使氮气和氨气直接作用也能制备三氟化氮。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时

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