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华安证券:机械:先进封装产业+键合技术发展,共驱键合设备广阔空间.pdf |
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终端市场发展与键合设备迭代互为驱动
半导体键合概念
半导体后道封装工艺包含背面研磨(BackGrinding)、划片(Dicing)、芯片键合(DieBonding)、引线键合(WireBonding)及成型(Molding)等步骤。这些工艺的顺序可根据封装技术的变化进行调整、相互结合或合并。“键合”是指将晶圆芯片固定于基板上。键合工艺可分为传统方法和先进方法两种类型。传统方法采用芯片键合(DieBonding)(或芯片贴装(DieAttach))和引线键合(WireBonding),而先进方法则采用IBM于60年代后期开发的倒装芯片键合(FlipChipBonding)技术。倒装芯片键合技术将芯片键合与引线键合相结合,并通过在芯片焊盘上形成凸块(Bump)的方式将芯片和基板连接起来。
键合分类
按是否需要进行解键合,可以将晶圆键合分为永久键合和临时键合。
永久键合后无需解键合,按照封装方案的不同,永久键合可能涉及完整的晶圆或单片芯片,其连接到其他晶圆或再分配层或中介层,目的是保证封装组件键合的永久性,并提供牢固的电、热和机械连接。根据是否有中间层,可以将永久键合分为两种主要类型:
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