山西证券：中微公司（688012）-业绩和订单创新高，新品拓展顺利

中微公司(688012) 事件描述 公司公布2023年报。实现营业收入62.6亿元，同比+32.2%；归母净利润17.9亿元，同比+52.7%；扣非归母净利润11.9亿元，同比+29.6%。其中，Q4单季实现营业收入22.2亿元，同比+31.0%；归母净利润6.3亿元，同比+66.1%；扣非归母净利润4.6亿元，同比+66.1%。 事件点评 核心设备均达到国际先进水平，市场份额不断提升，高端系列布局顺利。截止2023年末，累计4000多台等离子刻蚀和化学薄膜的反应台在客户120多条生产线全面量产和大量重复性销售。劳动生产率不断提高，人均年化营业收入超过350万元。（1）刻蚀设备实现收入47.0亿元，yoy+49.4%。CCP 设备，2023年交付超400个CCP刻蚀反应腔，累计交付2875个；针对超高深宽比刻蚀的PrimoUD-RIE已经在生产线验证出具有刻蚀≥60:1的能力；应用于All-in-one大马士革刻蚀工艺的SD-RIE已在国内领先的逻辑客户开展现场验证。ICP设备，在超过50个客户生产线上进行量产，PrimoNanova累计安装445个反应腔，近3年cagr超80%；深硅