首创证券：芯源微（688037）-公司简评报告：2022H1业绩高增长，前道设备实现批量化销售

芯源微(688037)2022H1业绩高增长。2022H1，公司实现营业收入5.04亿元，同比增长43.70%；归母净利润0.69亿元，同比增长97.91%；扣非归母净利润0.66亿元，同比增长122.41%。2022Q2，公司实现营业收入3.21亿元，环比增长74.48%；归母净利润0.37亿元，环比增长14.13%；扣非归母净利润0.34亿元，环比增长9.95%。涂胶显影机国内龙头，前道设备实现批量化销售。作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路制造后道先进封装和LED芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现国产替代。公司的前道涂胶显影设备客户包括中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、等。2022H1，公司offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售新签订单规模同比大幅增长，其中I-line、KrF涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单。前道涂胶显影设备多项关键技术取得突破。2022H1，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破：光刻胶涂覆缺陷