东方证券：中微公司（688012）-新签订单、营收、扣非归母净利润同步高增长

中微公司(688012)上半年营收同比增长47%达19.7亿元，扣非归母净利润同比增长615%达4.4亿元，新签订单同比增长约62%达30.6亿元。二季度单季营收10.2亿元，扣非归母净利润同比增长4倍以上至2.5亿元以上。上半年的人均年化营收高达350万元。公司设备至6月底累计付运台数达2654个反应台，已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。刻蚀设备持续高增长：上半年刻蚀设备收入为12.99亿元，同比增长51%，毛利率46.05%，其中CCP刻蚀设备收入同比增长14%至8.86亿元，ICP刻蚀设备收入同比增长414%至4.13亿元，出货量也高速增长。PrimoNanova®ICP刻蚀产品已在超过15家客户的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，工艺覆盖3DNAND芯片、DRAM芯片及逻辑芯片。截止6月底，PrimoNanova®已经顺利交付超过220台反应腔，且在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。MOCVD受益于Mini/MicroLED及化合物半导体市场增长：上半年MOCVD设备收入为2.41亿元，同比增