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中航证券:电子:ASML发声,成熟制程无忧,先进制程或可希冀.pdf |
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事件:当地时间3月8日,荷兰政府公告拟对华限制出口DUV光刻等技术并于夏季前实施。ASML官网回应称,新出口管制主要针对先进制造技术,不涉及所有浸没式光刻工具,只针对“最先进”设备(尚无明确定义),目前ASML将其理解为TWINSCANNXT:2000i及之后的浸没式设备。并强调!成熟制程客户可以使用不太先进的浸没式工具成熟制程不受限,中低端浸没式设备仍可出货1月27日美日荷联合断供协议后,市场担忧ASML对华全面禁售浸没式DUV设备,从而影响中国28nm在内的晶圆厂的扩产。本次ASML官方表态与我们此前的预测基本一致,从各国实际商业利益出发,全面禁售浸没式DUV设备的可能性较小。2022年ASML共出货81台ArFiDUV,对应收入52.5亿欧元,占其设备总收入的34%,且其中较多为高毛利率的中国客户,ASML并不想完全失去这部分市场。其次,中国大陆成熟制程的扩产对美威胁性较低,全球半导体产业也需要利用大陆代工的成本优势,因而不会过度限制,ASML公告也为此作出背书,成熟制程客户可以继续使用中低端的浸没式设备。优干悲观预期、先进制程或可希翼光刻精度由雷利第一公式R=k1*λ/NA指导
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