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南京证券:华特气体(688268)-国内电子特气领先企业,国产替代加速追赶.pdf |
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华特气体(688268)国内电子特气领先企业:公司主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心,辅以普通工业气体、气体设备与工程业务,打造一站式服务能力,能够面向全球市场提供气体应用综合解决方案。公司电子特气技术实力得到行业与市场认可,2017年公司自主研发发的4款光刻混合气(Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne)通过全球最大光刻机制造厂商ASML认证,2021年公司自主研发的4款光刻气(Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne)获得光刻用准分子激光机和极紫外光刻(EUV)的开发和制造商日本GIGAPHOTON认证;2023年公司准分子激光气体产品通过龙头激光企业Coherent认证。公司已实现高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳、高纯氧化碳、高纯八氟环丁烷、高纯三氟甲烷、稀混光刻气等约50个产品的进口替代。集成电路领域,实现了对国内8寸、12寸芯片厂超过80%的客户覆盖率,解决了长江存储、中芯国际、华虹宏力、华润微电子、台积电(中国)等客户多种气体材料的进口制约,并进入了英特尔、美光科技、德州仪器、台积电、SK海力士、三星等全球领先的半导体
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