国金证券：至纯科技（603690）-国产化助力即将崛起的清洗设备新秀

至纯科技(603690)投资逻辑中国大陆半导体设备行业进入黄金发展期，清洗设备成为公司第二增长曲线：目前37亿美元市场规模的清洗设备领域还是几乎被迪恩士，拉姆研究和东京电子这些美日厂商垄断，为了提升设备国产化率，公司在2017年进入清洗设备行业。目前至纯已经实现中高端单片和槽式清洗设备的研发，产品正在下游客户端验证，同时为了实现“三年出货200台”的目标，公司在2019年底发行3.56亿可转债，加码扩增清洗设备40台/年的产能。预计公司在2020年订单量有望进一步翻番，清洗设备营收有望接近2.1亿。高纯工艺系统进入“提质”阶段，并购波汇科技再添增长新动能：目前高纯工艺还是公司的营收主力，其中快速成长的半导体领域工程占比最高，达到65%，其他光伏、医药领域项目则聚焦更多资源在高毛利的项目，实现“提质增利”。高纯工艺系统不仅受益于晶圆厂建厂潮，而且随着半导体工艺每年更新迭代，都会产生新增需求，我们预估高纯工艺系统需求达到770亿，未来三年公司高纯系统业务也将实现30%以上的复合增长。2018年底公司并购波汇科技，实现了向光电传感器工程业务的拓展，而且下游客户均为国家大型国企，订单充足，预计