财通证券：中科飞测（688361）-半导体光学检测龙头，国产替代前景广阔

中科飞测(688361)核心观点半导体生产量检测重要性强，难度大技术壁垒高：测量（Metrology）与缺陷检测（Inspection）两大类设备，运用在半导体生产的几乎各个工艺环节中。集成电路不断向尺寸微缩化、结构3D化发展，生产过程中良率压力增大，量检测设备重要性凸显。相比其他半导体设备，量检测设备采用大量复杂光学原理，技术门槛更高，单机价值量与技术附加值更大。量检测市场规模大自主率低，国产替代方兴未艾：量检测设备占比半导体设备整体比例约为13%。2022全球市场规模超800亿人民币，中国国内市场规模2021年约为176亿人民币。相比于KLA等国际先行者，国内企业起步较晚，2020量检测设备整体国产化率不及2%，具备很大的成长空间。中科飞测自研核心技术，多维度创新突破：中科飞测通过多年自主研发，在量检测领域实现多项突破，掌握了光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等9项核心技术。通过持续积累与改进，公司的部分设备在灵敏度、重复性精度、吞吐量等关键的性能指标上已比肩海外竞争者。2022年中科飞测实现营收5.09亿元，是国内半导体量检测领域规模最大的公司。客户群优质产品线丰富，为