国联证券：中科飞测（688361）-国产半导体量检测设备龙头快速成长

中科飞测(688361)投资要点：中科飞测是国内领先的半导体量检测设备企业，自成立以来专注于半导体光学检测设备的研发、生产和销售，产品广泛应用于前道制造、后道封装领域。量检测设备空间大，国产有望打破垄断半导体量检测是控制芯片制造良率的关键环节，整个设备市场规模约占半导体设备市场的13%，仅次于刻蚀机、光刻机、薄膜沉积设备。根据SEMI，中国大陆已经成为全球最大的半导体量检测设备市场，我们预计22-24年中国大陆市场规模分别为35.71亿美元、30.26亿美元、35.56亿美元。目前中国量检测设备的国产化率不足5%，市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位。根据VLSIResearch，KLA、应用材料、日立在中国市场的占比分别为54.8%、9.0%和7.1%。国产厂商中科飞测、上海精测、上海睿励等企业加速布局，正逐步改变KLA的长期垄断格局。国产替代&产能扩充加速业绩释放公司量检测设备主要聚焦于光学检测技术，目前产品线可覆盖量检测设备市场份额的27.2%，同时公司正积极布局纳米图形缺陷检测、晶圆金属薄膜量测等设备，可覆盖市场份额有望进一步提升至50%以上。在可覆盖市场中，公司已