浙商证券：微导纳米23Q3业绩预告点评报告：23Q3收入超预期，在手订单充足成长性高

微导纳米(688147)投资要点事件：公司发布2023年前三季度业绩预告，预计2023年前三季度营业收入9.7-10.7亿元，同比增长152%至178%。单三季度营收增长超预期，在手订单充足保障业绩23Q3预计营收5.9-6.9亿元，同比增长156%-200%，23Q3营收中值6.4亿元，同比增长179%。23年上半年新签订单高增长，目前在手订单充足。截至23H1，公司在手设备订单约62.5亿，其中光伏设备订单56.2亿，半导体设备订单5.5亿元。据我们测算，上半年公司光伏设备新增订单约40亿，半导体设备新增订单约3亿。半导体设备：构建ALD+CVD双技术平台，已推出多款CVD设备公司形成了ALD技术为核心，CVD等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括ALD、PECVD、LPCVD设备等。ALD设备方面，TALD、PEALD均有成熟机型，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示领域获得订单，未来有望继续多点开花。已推出多款CVD设备，PECVD设备可沉积SiO2、SiN、Lok等，LPCVD设备可沉积SiGe、p-Si、dopeda-Si、SiO2、SiN等。202