华西证券：芯源微（688037）-涂胶显影突破垄断，尽享充裕市场空间

芯源微(688037)主要观点:芯源微2022年营收增长67.12%，三年复合增长率约为87.3%，我们认为公司作为国内涂胶显影设备和单片式湿法设备头部企业，将在半导体设备国产化的趋势下快速发展。涂胶显影设备国内厂商独家，突破日系厂商垄断根据中商产业研究院，当前中国大陆涂胶显影市场日本厂商TEL、DNS占据了超过95%市场，芯源微是国内唯一上榜的企业。根据公司年报，2022年公司前道涂胶显影机签单实现了快速放量，其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，完成晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖。随着公司产品的不断成熟，同时叠加国际贸易的不确定性增强，国内越来越多的晶圆厂正在加速公司前道涂胶显影机的导入进程。我们认为芯源微在涂胶显影技术处于国内领先，并不断升级精进，涂胶显影设备一般与光刻机紧密配合，积累的技术经验也是芯源微重要的竞争壁垒。面对广阔的市场空间，涂胶显影设备国内市场份额有望实现快速提升。前道物理清洗行业领先，化学清洗持续研发芯源微前道单片式物理清洗设备可用于28nm及以上工艺节点，凭借其高产能、高颗粒去除能力、高性价比等优势受到下游客户的广泛认可，并确立