恒锐知产：2025年静电卡盘创新主体创新体系评价报告

发布者：wx****a4

2025-03-11

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半导体

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静电卡盘（Electrostatic Chuck，简称ESC），又称静电吸盘，在半导体工艺中用于承载晶圆的工具，属于晶圆卡盘的一种类型。静电卡盘在物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积CVD、离子注入(IMP)、离子刻蚀等各工艺多种设备中广泛应用。区别于传统的机械夹持、真空吸附方式，静电卡盘具有一定优势技术，其具有更高的夹持精度、更大的夹持范围，同时静电卡盘可适用于高洁净、高腐蚀、真空等环境。

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