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华安证券:半导体深度报告:先进封装加速迭代,迈向2.5D/3D封装.pdf |
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先进封装向着小型化和高性能持续迭代
在以人工智能、高性能计算为代表的新需求驱动下,先进封装应运而生,发展趋势是小型化、高集成度,历经直插型封装、表面贴装、面积阵列封装、2.5D/3D封装和异构集成四个发展阶段。先进封装开辟了More-than-Moore的集成电路发展路线,能够在不缩小制程节点的背景下,仅通过改进封装方式就能提升芯片性能,还能够打破“存储墙”和“面积墙”。先进封装属于中道工艺,包括清洗、溅射、涂胶、曝光、显影、电镀、去胶、刻蚀、涂覆助焊、回炉焊接、清洗、检测等一系列步骤,关键工艺需要在前道平台上完成。
由单芯片封装向多芯片封装发展,聚焦关键工艺
典型封装技术包括:1)倒片封装(Flip-Chip):芯片倒置,舍弃金属引线,利用凸块连接;2)扇入型/扇出型封装(Fan-In/Fan-Out):在晶圆上进行整体封装,成本更低,关键工艺为重新布线(RDL);3)2.5D/3D封装:2.5D封装中芯片位于硅中介层上,3D封装舍弃中介层,进行多芯片堆叠,在基板上方有穿过芯片的硅通孔(TSV);4)SiP封装:将多个子芯片异构集成,缩短开发时间、提高良率;5)Chiplet:多颗具
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