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中泰证券:彤程新材(603650)-上海光刻胶工厂已竣工,ArF光刻胶填补国产空白

发布者:wx****88
2023-11-07
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中泰证券 半导体
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中泰证券:彤程新材(603650)-上海光刻胶工厂已竣工,ArF光刻胶填补国产空白.pdf
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彤程新材(603650)事件:公司发布公告,上海年产1.1万吨光刻胶、平板显示光刻胶及2万吨相关配套试剂项目工程阶段已竣工,目前已逐步进入试生产阶段。上海光刻胶工厂已竣工,KrF/ArF产能有望释放。目前彤程电子上海光刻胶工厂已逐步进入试生产阶段,其中半导体光刻胶将形成1000吨/年的产能,主要包括年产300/400吨ArF及KrF光刻胶量产产线,通过采用超高纯PFA(涂层)设备、引入高精度物料流量控制系统、配以自研的高精度高效率光刻过滤系统,可以实现ppt级金属杂质及0.1um级别的颗粒管控,具备不同配方先进制程光刻胶的生产能力。全面布局半导体光刻胶,有望引领国产替代浪潮。1)g/i线:目前公司G线光刻胶已占据国内较大份额;I线光刻胶已广泛应用于国内6"、8"、12"集成电路产线,涵盖14nm及以上工艺;2)KrF:KrF光刻胶量产品种达20种以上,稳定供应国内头部芯片制造商;3)ArF:公司已经完成ArF光刻胶部分型号的开发,首批ArF光刻胶的各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品,已具备量产能力,目前处于量产前的光刻工艺测试及产品验证阶段,满足国内先进制程光刻胶的部分需求。大陆光刻

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