天风证券：半导体设备零部件：小而美子赛道组成数百亿美元市场，国产化尚有大空间

1.半导体设备零部件细分种类多，在半导体设备中价值占比高1）从产业链上来看，半导体设备零部件处于偏上游的位置。按照各类零部件在设备上的不同功能，可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。2）半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源，在半导体设备厂商营业成本中占90%左右，我们测算占半导体设备总价值量50%左右。2.半导体设备零部件行业中国外厂商占据头部地位，国产化空间大1）半导体零部件行业中国外厂商占据头部位置，国产率整体较低。根据芯谋研究，目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电卡盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%。2）我们预测半导体设备零部件的全球市场规模可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元。我们预测中国大陆半导体设备零部件市场2022年预期规模为145亿美元，2030年预期市场规模约为180亿美元。3.半导体产能向国内转移，国内厂商“横向”发展系机遇所在1）半导体行业高景气，产能不断向国内转移。2）复盘海外龙头公司成长路径。1）从短期看：