华金证券：走进“芯”时代系列深度之八十八“刻蚀设备”：制程微缩叠加3D趋势，刻蚀设备市场空间持续拓宽——半导体设备系列报告之刻蚀设备

核心观点 受益制程微缩&3D趋势，刻蚀设备成为第一大半导体设备。随着线宽的持续减小和3D集成电路的发展，刻蚀设备已跃居集成电路采购额最大的设备类型。SEMI数据显示，全球刻蚀设备市场规模约210.44亿美元，占晶圆制造设备总市场规模的22%。由于刻蚀工艺复杂、技术壁垒高，全球刻蚀设备市场集中度高；华经产业研究院数据显示，2021年全球刻蚀设备CR3超90%。 CCP受益3D发展趋势，制程微缩推动ICP需求增长。干法刻蚀是目前主流的刻蚀技术，可分为电容性等离子体刻蚀（CCP）和电感性等离子体刻蚀（ICP）两大类。CCP适用刻蚀硬介电材料以及孔/槽结构，其需求主要来自3DNAND等3D结构发展的推动；ICP适用于刻蚀硬度低或较薄的材料以及挖掘浅槽，因此线宽持续减少是ICP需求主要推动力。中微公司和北方华创是国产刻蚀设备龙头，分别在CCP和ICP领域占据领先地位。 下游扩产趋势明确，器件结构多维度升级刺激需求。根据SEMI数据，中国大陆已连续四年成为全球最大半导体设备市场。Gartner预计，2018-2025年中国大陆新建晶圆厂项目为74座，位居全球第一。下游明确的扩产趋势，叠加半导体全产