光大证券：光伏设备行业动态跟踪报告：微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业

TOPCon隧穿与掺杂多晶硅核心工艺设备环节具备多种技术路线和对应高度垄断的行业竞争格局。TOPCon相较于PERC增加硼扩散设备、氧化硅隧穿层+p-Poly层制备设备、去绕镀刻蚀设备，减少激光开槽设备，其中2nm超薄隧穿层与掺杂多晶硅层制备最为核心，可选工艺路线较多。当前较成熟为热氧化法，即拉普拉斯的LPCVD路线，据我们不完全统计，2022年投产100GW左右TOPCon电池片中绝大部分使用LPCVD路线，PECVD、PVD、PEALD路线亦均有设备厂商积极布局。捷佳伟创于2021年12月与润阳光伏签订PERC+升级TOPCon的整线改造订单，为其提供5GW的PE-poly核心装备，PE-Poly三合一设备可在同一机台完成隧穿氧化层、非晶硅层、原位掺杂三道工序，该设备因具有投资成本低、掺杂工艺时间短、效率高、解决绕镀问题等明显优势被视为LPCVD强有力的竞争路线之一。微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业，头部企业示范效应或将带来行业竞争格局变动。微导纳米2023年1月18日公告，公司拟向彭山通威销售ALD钝化设备及PE-Poly设备，合同金额4.5亿元（含13%增