浙商证券：微导纳米深度报告：中国ALD设备龙头，半导体光伏两翼齐飞

微导纳米(688147)投资要点中国ALD设备龙头，技术引领半导体、光伏设备领域公司以原子层薄膜沉积技术为核心，下游覆盖半导体、光伏、柔性电子三大领域。公司是国内首家成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线的国产设备公司，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个细分应用领域获得订单。公司首创将ALD技术应用于光伏领域，技术覆盖PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿等电池路线，TOPCon整线工艺订单放量在即。2018-2021年，公司营收由0.42亿元增长至4.28亿元，CAGR高达117%。半导体设备：预计2024年我国ALD设备市场规模超百亿元，国产替代需求广阔ALD设备是芯片微缩的核心动力之一，SEMI预计2020年-2025年全球ALD设备市场规模年复合增长率达26.3%，据此测算2024年我国ALD设备市场规模达百亿元。全球ALD设备被国外厂商垄断，国产ALD设备市占率低，且美国半导体管制下卡脖子环节得到关注，公司作为国内半导体ALD技术领军者享有更多设备验证机会，国产替代需求广阔，半导体ALD设备市占率有望加速突破。光伏设备：新型电池路线布局全