申港证券：电子行业研究周报：国产设备厂商关键设备领域覆盖更进一步

投资摘要： 市场回顾 上周（3.24-3.28）申万电子行业指数下跌2.07%，在申万31个行业中排名第24，跑输沪深300指数2.08%。 每周一谈：国产设备厂商关键设备领域覆盖更进一步 国产设备厂商于Semincon发布重磅产品，关键设备领域覆盖更进一步。根据半导体产业纵横消息，北方华创在semicon发布其首款离子注入机SiriusMC313，标志着北方华创正式进军离子注入设备市场。公司将以实现离子注入设备全品类布局为目标，撬动国内160亿元的市场空间。公司还发布了专为硅通孔（TSV）铜填充设计的首款12英寸电镀设备（ECP）—AusipT830，主要应用于2.5D/3D先进封装领域。中微公司发布首款晶圆边缘刻蚀设备PrimoHalona，可配置含最多三个双反应台的反应腔。公司推出了多款LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备新产品，并获得重复性订单。新开发的硅和锗硅外延EPI设备等多款新产品，也会在近期投入市场验证。公司宣布在等离子体刻蚀技术领域再次实现重大突破，通过不断提升反应台之间气体控制的精度，ICP双反应台刻蚀机PrimoTwin-Star反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A。