光大证券：半导体设备行业跟踪：本土设备厂商维持高成长

本土设备厂商的销售额：前道设备继续保持高成长，后道封测设备增速放缓。（1）前道设备：拓荆科技、华海清科增长最快。拓荆科技2022年实现销售收入17.06亿元，同比增长125%，华海清科实现收入16.82亿元，同比增长109%，其次是盛美上海、芯源微，分别增长77%、67%，中微公司、北方华创、中科飞测分别增长52%、39%-61%、25%-66%。（2）前道设备：拓荆科技、盛美上海、中微公司、微导纳米2022年加速成长。拓荆科技2022年实现销售收入17.06亿元，同增125%，增速较2021年显著加快，而盛美上海、中微公司、微导纳米的2022年收入增速也均快于2021年。（3）封测设备：受行业景气度影响，分选测试设备2022年增速放缓。华峰测控、金海通、耐科装备2022年收入增速依次是22%、1%、8%，显著低于2021年的增速。本土设备厂商的盈利能力：前道设备毛利率、扣非净利率显著上升。（1）扣非净利润：拓荆科技2022年实现扭亏为盈，大部分前道设备和零部件公司扣非利润翻倍以上增长。（2）扣非净利率：A股主要半导体设备和零部件平均扣非净利率估计超过16%，相比2021年显著上升4p