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太平洋证券:南大光电(300346)-ArF光刻胶认证通过,国产替代龙头进阶在即

发布者:wx****b4
2020-12-18
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太平洋证券
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太平洋证券:南大光电(300346)-ArF光刻胶认证通过,国产替代龙头进阶在即.pdf
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南大光电(300346)事件:2020年12月17日,南大光电发布公告称,子公司宁波南大光电自主研发的ArF光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证,成为国内通过产品验证的第一款国产ArF光刻胶,为全面完成02专项目标奠定了坚实的基础。制程的关键,光刻胶性能决定了工艺所能达到的高度。根据全球半导体行业协会SEMI最新数据,2020年全球半导体材料市场将达到529.4亿美元,且2021年将增长至563.6亿美元,同比增长6%。而在众多半导体材料体系中,制备难度和技术重要性首屈一指的,非光刻胶莫属。作为IC光刻工艺中,光刻胶扮演着电路图案载体的重要角色,其品质好坏直接决定着光刻制程的成败,此外,光刻胶分辨率所能达到的极限指标,便是光刻工艺的极限领域。在工艺节点随摩尔定律演化至今的过程中,光刻胶发展分别经历了G/I线光刻胶(非化学放大)、KrF光刻胶(化学放大)、ArF光刻胶(化学放大)、ArFi光刻胶(化学放大)、EUV光刻胶等品类。本次南大光电验证通过的光刻胶属于仅次于EUV光刻胶的ArF光刻胶,线制程工艺可以满足45nm-90nm光刻需求,孔制程工艺可满足65nm-90nm光刻需求。南大光

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