东吴证券：芯源微（688037）-2022年报点评：前道Track加速国产替代，新签订单创历史新高

芯源微(688037)事件：公司发布2022年年报。前道Track&物理清洗设备快速放量，2022年新签订单创历史新高2022年公司实现营业收入13.85亿元，同比+67%，其中Q4实现营业收入4.88亿元，同比+73%，延续高速增长。分业务来看，1）光刻工序涂胶显影设备：2022年实现收入7.57亿元，同比+49.55%，收入占比54.67%，同比-6.42pct。我们判断一方面受益于小尺寸和后道封装领域收入稳健增长，另一方面前道涂胶显影设备也实现快速放量；2）单片式湿法设备：2022年实现收入5.50亿元，同比+89.91%，收入占比39.72%，同比+4.77pct，我们判断主要系前道物理清洗机新签订单较多，陆续确认收入。3）其他设备：2022年实现收入0.53亿元，同比+202%，收入占比3.84%，同比+1.72pct。截至2022年末，公司存货和合同负债分别为12.13和5.85亿元，分别同比+30%和+66%，验证在手订单充足。新签订单方面，2022年公司新签订单22亿元，创历史新高。细分订单结构来看，我们判断其中前道Track、物理清洗设备订单占比合计超过50%，公司订