中银证券：半导体设备专题之量测年报：从KLA、Lasertec、Onto等年报看量测设备：整体价值量占比上升，EUV掩模版检测增速最快

量测设备作为晶圆制造工艺核心设备之一，近年来价值量占比已超10%，仅次于光刻机、薄膜沉积、刻蚀设备的第四大工艺设备，成长性快于半导体设备行业，且行业竞争格局由KLA、HitachiHigh-tech、AppliedMaterials等少数几家企业垄断，是十分好的投资赛道。市场规模：2020年全球量测设备市场规模估计超70亿美元，占半导体设备行业规模的比例达到11%以上，约上升1个百分点。根据KLA、ASML等公告，2020年全球量测设备市场规模约为73亿美元，同比增长23%，快于SEMI预计2020年半导体设备行业整体15%的增速。基于SEMI统计、ASML、Lam、KLA等公告数据，2020年全球量测设备市场规模约占晶圆制造设备市场（WFE）的11.5%~12%，相比2019年上升约1个百分点。市场增量：主要来自AppliedMaterial的量测业务收入增长及LaserTec的EUV掩模版量测设备收入增长。根据2020年各公司公告数据统计，相比KLA、HitachiHigh-tech、ASML、Nova等的量测设备收入增速位于10%-20%范围内，AppliedMaterials的