德邦证券：半导体设备中标专题（2022年6月）：设备国产率持续提升

2022年6月国内主流晶圆厂共开标68台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年6月国内10家主流晶圆厂共开标68台工艺设备，主要来自上海积塔（52台）、华虹无锡（11台）、福建晋华（3台）、华力集成（1台）。22年1-6月合计开标548台工艺设备，主要来自华虹无锡（291台）、上海积塔（210台）、时代电气（16台）、福建晋华（23台）、华力集成（6台）、华力微电子（2台）。干法去胶机、后道测试、清洗设备为2022年6月国内晶圆厂主要开标设备。2022年6月开标的68台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为干法去胶机（14台）、清洗设备（13台）、后道测试设备（11台）、离子注入机（9台）、沉积设备（8台）、刻蚀设备（8台）、前道检测设备（2台）、炉管设备（2台）、抛光设备（1台）。2022年1-6月开标的548台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别炉管设备