天风证券：机械设备行业深度研究：国产ALD设备先锋，进口替代正逢其时！

1）光伏ALD设备领军者，拓展半导体领域应用微导纳米深耕薄膜沉积设备领域，以ALD技术为核心不断实现技术突破。公司率先将ALD应用于光伏领域，产品矩阵包括ALD设备与PECVD设备，覆盖多家龙头电池片厂商，交付的无锡尚德整线量产效率突破25%。半导体领域，公司研制出的高k栅氧层ALD设备已实现销售，取得28nm节点中国产ALD设备技术突破。公司三年营收增速皆超30%，ALD设备凭借技术壁垒实现高毛利，手握19.75亿元在手订单，助力业绩稳攀高峰。2）WhyALD：精度之王，迎合高标准趋势综合比较PVD/RPD/CVD/ALD四大技术路径，物理沉积与化学沉积的主要区别在于：化学沉积的致密性与均匀性更优，精细度高，更适合沉积复杂结构；物理沉积适合平面结构，镀要求较低的膜层。ALD在超薄与复杂结构中体现不可替代性：光伏：技术路径的选择最终归于平衡降本增效，ALD在超薄膜层如鱼得水，如TOPCon电池中的氧化铝钝化层与隧穿氧化层。半导体：制程缩小趋势下，ALD必不可少。在制程进入28nm后，器件结构不断缩小且更为立体化，CVD与PVD难以胜任。3）光伏领域：高效电池未来已来，公司设备有望乘风而