国联证券：芯源微（688037）-涂胶显影设备龙头，新品持续迭代突破

芯源微(688037)投资要点：公司是国内领先的半导体湿法设备企业，并且涂胶显影设备在国内率先量产，打破了海外的长期垄断，未来有望深度受益国产晶圆厂扩产。目前国内TRACK设备规模近10亿美元，长期被日企垄断TRACK设备是光刻工序核心设备之一，负责涂胶显影等工艺。根据Gartner数据测算，2020年中国大陆半导体TRACK设备销售额为7.1亿美元，预计2023-2024年中国大陆半导体TRACK设备为10.1亿美元、11.6亿美元。从供给端来看，全球和国内市场均被日本TEL、DNS垄断了大部分市场，国产厂商目前仅芯源微TRACK设备实现了量产，具有较大的替代空间。TRACK设备率先量产并取得重复订单公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖，并持续向更高工艺等级迭代。此外，公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构FT300（Ⅲ）发布后在客户端导入进展良好，同时未来可作为通用性架构全面向下兼容ArF、KrF、I-line、offline等工艺。订单方面，2022年公司新签订单22亿元，其中包括TRACK设备的重复订